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潔淨廠房中化學品儲存間如何布置
發布者:精品欧美麻豆淨化工程公司瀏覽次數:發布時間:2023-06-27
在潔淨廠房內根據產品生產工藝需要和化學品物化性質分別設置不同類型的化學品儲存、分配間,以輸送管道向所需化學品的生產設備供應相應的化學品。潔淨廠房內的化學品儲存、分配間通常設在生產支持區(輔助生產區),一般設在靠外牆的單層或多層的底層房間。各類化學品應按其物化特性分類儲存,不相容的化學品應布置在不同的化學品儲存、分配間內,房間之間應以實體隔牆進行分隔;危險性化學品應儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內,與相鄰房間的隔牆耐火極限不應小於2.0h,並應布置在生產廠房一層靠外牆的房間內。

在電子工廠潔淨廠房內通常設有酸類和堿類化學品儲存分配間、可燃溶劑類化學品儲存間。在酸類儲存分配間內一般設置硫酸、磷酸、氫氟酸、鹽酸等儲存、分配係統,在堿類儲存分配間內一般設置氫氧化鈉、氫氧化餅、氫氧化胺、氫氧化四甲基胺等儲存、分配係統;可燃溶劑的儲存分配間內一般設有異丙醇 (IPA)等有機溶劑的儲存分配係統。在集成電路晶圓製造工廠潔淨廠房內還設有研磨液儲存分配間。在集成電路晶圓、平板顯示器件製造潔淨廠房中,通常是將化學品儲存分配間布置在靠近潔淨生產區或貼鄰在潔淨生產區一側的輔助生產區或支持區,一般是設置在一層並能直接通往室外的布置。

化學品儲存分配間內根據產品生產所需的化學品種類、數量和使用特性設有不同容量的儲存用桶槽或儲罐。按標準規範的規定,化學品應分類分別儲存,所采用的桶槽或儲罐的容量應為此類化學品7天的消耗量;並應設置日用桶槽或儲罐,日用桶槽的容量應為產品生產所需化學品 24h的消耗量,可燃溶劑化學品、氧化性化學品的儲存分配間應分別設置,並與相鄰房間之間設置耐火極限為3.0h 的實體防火隔牆分隔,若布置在多層建築的一層時,應以耐火極限不小於 1.5h 的不燃燒體樓板與其他部分分隔;潔淨廠房內的化學品安全及監探係統集中控製室應設置在單獨的房間內。

潔淨廠房內化學品儲存分配間的高度應根據設備和管道布置的要求確定,一般不宜低手4.5m;若布置在潔淨廠房輔助生產(支持區)部分內時,化學品儲存分配間的高度宜與所在部分的廠房高度一致。

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