潔淨車間無塵室等級和定義:EPURZAN精品欧美麻豆
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無塵室定義:
將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度,控製於一定範圍內之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子,且指一般空氣清淨機無法完全清除之灰塵。
無塵室一般分為電子、精密工業用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控製微生物濃度等製藥、食品產業用BiologicalCleanRoo(BCR)。
無塵室等級
現今一般多奉行與美國所製定的聯邦規格(U.S.Federalstandard209b),BCR則多參考明定生物粒子限製值的NASA規格(美國航空署5340.2規格)。
其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中,含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子,及稱為[等級○○]。例如:空氣中含有10個0.5以下時,表示為“等級10”。自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。

無塵室工程 I EPURZAN精品欧美麻豆
潔淨車間無塵室等級
在JIS標準下,無塵室清潔度,共分為8個等級
一般清潔度是指空氣的潔淨等級,分為等級1、2、3•••8,8階段。在1立方公尺的空氣中,粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3,一次類推。
隨著尖端產業的發展,加速了產業結構的變革,無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,導致品質低下。伴隨商品的高品質要求,環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。
所謂的無塵室是一個人造的環境,裏麵含有的粒子遠低於一般的環境,隨著集成電路的級數的快速成長,也增加了對製造環境(無塵室)潔淨度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小於0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。
優於納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路製造不可或缺的要素。