潔淨室如何升級改造？
發布者：精品欧美麻豆淨化工程公司瀏覽次數：發布時間：2023-02-24
潔淨室升級改造的設計方案製定，雖然原則應該說基本相同的，但是由於空氣潔淨度等級的提升．尤其是由非單向流潔淨室升級為單向流潔淨室或由 1S06級/1S05級潔淨室升級改造為 1S0 5級/Is04級/1s03級潔淨室時．無論是淨化空調係統的循環風量、潔淨室的平麵和空間布置還是相關的潔淨技木措施等都有較大或很大的變化，因此潔淨室的升級改造除了前麵己敘述的設計原則外還要考慮下述因素
①對潔淨室的升級改造，首先應該結合具體工程實際情況製定的一個可能實現的改造方案
根據升級改造的目標及相關技術要求和原有建設的現狀等，進行認真、翔實的多設計方緊的技術經濟比較。這裏應該特別指出的是此項比較不僅是改造的可能性和經濟性，還應包括升級改置後運行費用的比較，尤其應注意能源消托費用的比較。為完成此項任務，業主應委托有實踐經驗、有相應資質的設計單位進行調查、谘詢、規劃工作。
②潔淨室的升級改造宜優先選用各種隔離技術、微環境技術或局部潔淨裝置或層流罩等技術手段，對需要高級別空氣潔淨度等級的生產工序、設備采用微環境裝置等技術手段同較低級別空氣潔淨度等級的潔淨室分隔或將整體潔淨室提高至可行的空氣潔淨度等級，而對要求很高級別空氣潔淨度等級的生產工序、設備采用微環境裝置等技術手段。
舉例ISO5潔淨室全麵改道為 ISO4級和采用徽環境係統設計方案的技術經濟比較後，采用了微環境係統的升級改造方案，以較小的升級改造費用達到了所需的空氣潔淨度等級要求，且能源消耗世較低：運行後經檢測每一徽環境裝置均達到了ISO4 級以上的綜合性能。據了解，近年來許多超大規模集成電路工廠在進行吉淨室升級改造或新建廠房時，都將生產廠房按1S05級/IS06級單向流潔淨室進行設計建造及披生產線各工序、設備的高級別潔淨度要求采用 SMIF 微環境係統，達到了產品生產所秀的空氣潔淨度等級，既城少了投資費用、降低了能源消耗，還有利於生產線的改造、擴產要求，具有較好的靈活性。
③潔淨室升級改造時常常要增大淨化空調係統的儲環風量，即增大潔淨室內的換氣次數或平均風速，由此必然需要調整或更換淨化空調裝置、增加高效風口的數量、增大風管尺才以及增大供冷（熱）能力等。在實際工作中，為了降低潔淨室開級改造的投資費用．做到調整變動較小，解決的辦法隻能是充分了解產品生產工藝情況和原有淨化空調係統的情況，合理劃分淨化空調係統，盡可能利用原有的係統及其風管，適當增設必要的、改造工作量較少的淨化空調係統。
