潔淨室不鏽鋼管的施工安裝要求
發布者：精品欧美麻豆淨化工程公司瀏覽次數：發布時間：2022-09-15
(1） 基本要求
電化學拋光不鏽鋼管 (electro polished pipe•EP管）、光亮退火不鏽鋼管 (brighe annealing pipe， BA 管），在高純氣體、特種氣休、高純化學品輸送中的應用及特點進行了敘述。在國家標準《潔淨廠房施工及質量驗收規範（GB 51110）中對BAVEP 不鏽鋼管道的安裝有如下要求。
① BA/EP 不鏽鋼管的預製、安裝作業應在潔淨工作小室內進行。
②作業人員應經培訓合格後上崗，作業時應著潔淨工作服、手套。
③ 管子、管件和網門在預製、安裝前後或停頓工作時，應以潔淨塑料袋封口，袋破損，應及時檢查、處理。
④切割管子直徑等於或小於 10mm 時，宜采用割管器；直徑大於 10mm 時，宜采用專用電鋸。切割後應以純度為 99.999％的純氬吹淨管內切口的雜物、灰塵，並應去除油汙。
⑤ BA/EP 管道的連接宜采用卡套連接、法蘭連接或焊接。BA/EP 管的焊接應采用自動焊，焊接時管內應充純度為 99.999％的純氬氣。焊接結束後應繼線充純氬吹掃、冷卻。
⑥ BA/EP 管的焊接應正確選擇電極棒（鎢棒）規格和焊接工藝參數。焊接前應按施工要求做出樣品，並應在檢驗合格後施焊。當改變焊接參數時，應按施工要求做樣品，並應在檢驗合格後再進行焊接作業。BA/EP 管材、管件、閥門組對時，應做到內、外壁平整，對口錯邊不得超過壁厚的 10%，且不得大於 0.2mm。每焊接完成一個焊口，均應采用不鏽鋼刷及時清除表麵氧化層。焊縫形態應均勻，不得有未焊透、未融合、氣孔、咬邊等缺陷。BA/EP 管及管件、閱門的內、外表麵應無塵、無油，表麵應平整，且不得有破損、氧化現象。BA/EP 管道連接用墊片的材質應符合設計要求或由設備、附件配帶，安裝前應確認墊片潔淨無油、無汙染物。BA/EP 管道的安裝應按工程設計圖順氣流方向依次進行，並應連續充純金吹掃、保護，管內純氬的壓力應大於0.15MPa，並應直至管路係統安裝結束。工程實踐表明，由於BA 不鏽鋼管的應用在潔淨廠房中日漸增多，因此對於較大管徑如 DN>150 采用手工氬保護焊。
（2）Ep管材及附件的選擇
①不鏽鋼電化學拋光管（EP 管）、不鏽鋼光亮退火管 （BA管）的特點和在高純氣體、特和氣體輸送中的應用。為確保 EP 不鏽鋼管的施工安裝質量，必須正確選擇 EP 不鏽鋼管及其附什、闊門等。目前國內外用作不鏽鋼 EP 管、BA管的材質有 sUS304、sUS316、SUS316L, 等，在微電子半導體工業中常用的 EP 管均為無縫SUS316L 管，根據不同標準，各個製造廠家生產的 3161 不鏽鋼 EP 管的規格參數是不同的，與之相適應的管道用閥門/接頭也均不相同，所以在選購 3161 不鏽鋼 EP 管及其附件、閥門時應仔細了解供貨單位提供的技術資料，並與設計方、業主進行討論、協調，得到它們的確認。
②對於半導體工業潔淨廠房來說，十分重要的是控製 EP管的內表麵粗糙度，而不是外觀光亮。不鏽鋼管的拋光方法，常用的有電化學拋光、特殊研磨拋光、亞電化學拋光、光亮退火地光、羽布拋光等。采用羽布拋光的不鏽鋼管內外表麵看似很“亮”，但其內表粗糙度卻不能滿足要求，隻能用於裝飾用不鏽鋼管
③與 EP管配用的閥門應按設計要求訂購，一般與 EP管配用的閥門為材質相當的隔膜網、波紋管網；選購時應與所選用不鏽鋼 EP 管的規格尺寸相符，否則將影響連接質量。
④316L不鏽鋼 EP管的連接一般采用焊接或 VCR 接頭連接時，也同樣應認真檢查核實是否與 EP 管材的規格尺寸相符，訂購時應配全 VCR 接頭的全部零部件（包括墊片、管接頭等)。對於不鏽鋼 EP 管用網門、附件應選用滿足 EP 管潔淨要求的產品，並在產品檢驗單（合格證書） 明確標明
