潔淨室（區）設備安裝要求
發布者：精品欧美麻豆淨化工程公司瀏覽次數：發布時間：2022-07-27
在GB/T 25915.5/1S0 14644-5 中要求潔淨室內固定設備的安裝，應根據潔淨室的設計和作用,下麵具體重點介紹下一下情況
1.設備的安裝方法：理想的方法是在設備安裝期關閉潔淨室，並且有能滿足設備運進所福覽度的門或在瑞板上預留通 道，以讓新設備通過並進入潔淨室，為防止安裝期附近的潔淨室受到汙染、應采取防護措施，以確保潔淨室仍符合其潔淨度要求所需的後續的工作。
2.若設各安裝期間潔淨室的工作不能停，或有結構需要拆除，必須將正在運行的潔淨室與工作區進行有效隔離：可采用臨時隔離牆或隔斷圍擋。為不妨礙安裝工作，沒備周圍應的有足夠的空間。若條件許可，可通過服務通道或其他非關鍵區 進人隔離區：如不可能，應釆取措施盡量降低安裝工作所產生的汙染影響。該隔離區應維持等壓或負壓。隔高區內應切斷潔淨送風，避免對周圍的潔淨室形成正壓。如果隻有通過相鄰的潔淨室才能進人隔離區，則應采用粘墊，去除鞋上攜帶的汙物。
3.進人隔高區後，可使用一次性靴子或套鞋及連體工作服以免汙染潔淨服。離開隔離區前應脫下這些一次性物品。應製定設備安裝過程對隔離區周圍區域監測的方法並確定監測頻度，確保檢測到可能泄漏至相鄰潔淨室的任何汙染，隔離措施設置後可架設各種所需的公共服務設施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和廢水管道，應注意盡可能控製並隔離作業產生的煙塵和渣屑，避免因疏忽擴散至周圍的潔淨室，還應便於拆除隔離屏障前進行有效的清潔。公用服務設施符合使用要求後，應按規定的清潔規程對整個隔離區清潔去汙。包括全部的牆、（固定的和可移動的）設備及地麵在內的所有表麵，都要進行真空清潔、擦拭和拖擦，並應特別注意清潔設備護板後麵及設備下麵的區城。
4.依據潔淨室和安裝設備實際狀況可進行設備性能的初步測試，但後麵的驗收檢測應在完全具備潔淨環境條件時進行。根據安裝現場狀況可開始小心地拆除隔離牆；如已關閉潔淨送風，則將其重新啟動；應慎重選定進行這階段工作的時間，以盡量減少對潔淨室正常工作的千擾。此時可能需要測量空氣懸浮粒子濃度是否滿足規定要求
5. 設備內部及關鍵的工藝腔室的清潔與準備工作，應在正常的潔淨室條件下進行。與產品接觸或與產品輸送有關的所有內腔室及所有表麵都要進行擦拭，使其達到要求的潔淨程度。設備的清潔順序應是從頂到底，如有粒子擴散，較大的粒子因重力將落到設備的底部或地麵上。清潔設備的外表麵，順序也是從頂到底。必要時，應對產品或生產工藝要求屬於關鍵性的區城，進行表麵粒子檢測.
6.鑒於潔淨室的特點，尤其是高科技潔淨室大麵積、高投人、高產出的特點和十分嚴格的潔淨度要求，在這類潔淨廠房內生產工藝設備的安裝更加具有一般潔淨廠房沒有的特定要求。為此，在2015 年發布的國家標準《潔淨廠房施工及質量驗收規範》（GIB 51110）中對潔淨廠房內生產工藝設備的安裝作了一些規定，主要有以下內容。
A.為了防止在生產工藝設備的安裝過程中給已進行“空態〞驗收的潔淨室（區）帶來汙染甚至損壞，其設備的安裝過程不得有超範圍的振動、傾斜，不得劃份及汙染設備表麵。
B.為使潔淨室（區，內生產工藝設備的安裝做到有序和無坐或少坐作業，並能遵循潔淨廠房內的潔淨生產管理製度，做到在生產設備安裝過程保護好已經按“空態”驗收的各項“成品”“半成品”，安裝過程所必須使用的材料、機具等不得散發或可能產生（長期地包括在潔淨室正常運行中）對所生產產品有害的汙染物，應采用無塵、無鏽、無油脂且在使用過程中不產塵的清潔材料。
C.應以潔淨、無塵的板材、薄膜等材料保護潔淨室（區）的建築裝飾表麵；設備墊板應按設計或設備技術文件要求製作，如無要求時應采用不鏽鋼板或塑料板。獨立基礎和地板加固用碳鋼型材應經防腐處理，表麵應平整、光滑；用於嵌縫的彈性密封材
D.材料應注明成分、品種、出廠日期、儲存有效期和施工方法說明書及產品合格證書潔淨室（區）使用的機具不得搬至非潔淨室（區）使用，非潔淨室（區）使用的機具不得搬至潔淨室（區）使用，潔淨區使用的機具應做到機具外露部分不產塵或采取防止塵埃汙染環境的措施，常用機具在搬人潔淨區前應在氣閘室進行清潔處理，應達到無油、無垢、無塵、無鏽的要求，並應經檢查合格貼上“潔淨”或“潔淨區專用”標識後搬人。
E.潔淨室（區）內的生產工藝設備需安裝在活動地板等“特定地麵”上的設備基礎一般應設置在下技術夾層地坪上或泥凝士多孔板上；安裝基礎所需拆除的活動地板，經手持電鋸切割後的結構應子加固，其承載能力不應低於原承載能力。當應用鋼製框架結構的獨立基礎時，應選用鍍鋅材料或不鏽鋼材料製作，外露表麵應平整、光滑。
F.潔淨室（區）內生產工藝設備的安裝過程需在牆板、吊頂和活動地板開洞時，其開洞作業不得劃份或汙染需保留的牆板、吊 頂板表麵，活動地板開口後不能及時安裝基礎時，應設安全護欄並設危險標識；生產設備安裝後，洞口四周間隙應進行密封處理，並應做到設備與密封組件為柔性接觸，密封組件與壁板的連接應緊密、牢固；工作間一側的密封麵應平整、光滑。
